ラボラトリーカタログVol2 253-254(254-255)

概要

  1. 実験室
  2. クリーンルーム
  1. 253
  2. 254

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■クリーンルーム クリーンルーム設計資料 気流方式と特徴 気流方式 単一方向流方式 非単一方向流方式 混流方式 Mixed Airflow Clean Room トンネル方式 Tunnel Clean System垂直層流方式 Vertical Laminar Airflow Clean Room 水平層流方式 Horizontal Laminar Airflow Clean Room 乱流方式 Turbulent Airflow Clean Room 清浄度 ISO3~5(クラス1~100) ISO5(クラス100) ISO6~8 (クラス1,000~100,000) ISO6~8 (クラス1,000~100,000) ISO3~5(クラス1~100) 稼動時の清浄度 作業者からの影響は少ない 上流の発塵が下流に影響する 作業者からの影響がある レイアウトにより作業者から の影響が若干ある 作業者からの影響が最も少 ない ランニングコスト 高 中 低 中 中 レイアウト変更 容易 困難 容易 容易 困難 製造装置のメンテナンス ルーム内又はリターンスペース から行う ルーム内又はリターンスペース から行う ルーム内から行う ルーム内又はリターンスペース から行う リターンスペースから行う 将来の増設 困難 困難 やや困難 困難 ライン毎増設可 高精度空調 ルーム全体制御のためやや 不均衡有 上流の発熱が下流に影響する 不均衡有 不均衡有 作業エリア毎に高精度制御 可能 気流の流れ SA RA SA RA SA RA RA RA SA SA RA 設計の留意点 1.気流方式 単一方向流方式(垂直、水平)、非単一方向流方式(乱流)、トンネル方式があり、それぞれの特徴を考慮し使用目的に合わせ決定します。 2.清浄度 清浄度は要求される使用環境により決定されます。清浄度レベルは気流方式、換気回数、室内圧力および内部機器のレイアウト等の検討によ り達成されます。 3.レイアウト 作業性を考慮し、清浄度を満足させたレイアウト計画は人や物の出入口、通路、ユーティリティー、メンテナンス性等を総合的に検討すること が必要です。また発塵の多い場合は局所排気等で隔離します。 4.構造・材料 気流を乱したり塵埃が蓄積しない構造とするため、クリーンルーム内面は出来る限り平滑とし、また内装材も発塵が少なく、粒子が付着し難く、 清掃が容易な材料を選択します。作業内容により耐薬品性、耐湿性、耐火性の材料を選択する場合もあります。 5.付属装置 クリーンルームを構成する周辺装置として、発塵制御や圧力保持用には人の入室用の「エアーシャワー」、物品の搬出入用の「パスボックス」、 室内圧力調整用の「セーフティダンパー」、物品や無塵服保管用の「クリーンストッカー」、「クリーンロッカー」、手指の洗浄・乾燥用の「クリーン ハンドドライヤー」、「クリーン手洗乾燥機」等があります。使用目的に応じ導入計画をたてます。 6.人と物の管理 作業者の入退室や外部からの物品の搬出入は最大の発塵源です。クリーンルーム設計時に充分な検討が必要です。 7.ユーティリティ 給排水、ガス、電気等、エネルギー供給のためのユーティリティは気流方式、レイアウトのフレキシビリティを考慮し決定します。またメンテナ ンス時に、清浄度の低下防止対策を考慮する必要があります。 8.安全対策と非常設備 クリーンルームは密閉構造のため火災、ガス漏れ等に対する事故防止対策が必要です。また突発的な停電に対しては汚染防止のため非常用 電源設備を設置する必要があります。 253 実 験 台 備 品 環 境 制 御 施 設 ヒュームフード 実 験 室 環境制御施設
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■クリーンルーム レイアウト計画 項目 注意点 出入口 ・入口、出口は最小数とし別々に考えるべきである。(特にエアーシャワー設置時) ・直接外気に面さないこと(エアーロックルーム) 下足部と離すこと。 ・位置は下流とする(特にクロスフロー) 更衣室 ・更衣室の空気量は多く取ること。 ・手洗所を付ける、多人数の場合は飲水を用意。 ・クリーンルーム間は少なくとも二重ドアーとすること。(エアーシャワー装置設置) ・内部との通信を可とする。 ・必要時は休息室を設置する。 搬出搬入 ・出来るだけパスボックスを利用。(部品) ・搬入口を付ける。(大型装置) 室内の配置 ・最小とする。単純とする。 ・管理事務所を外部とする。連絡法を考慮。 ・拡張計画。 ・人の移動を最小とする。 ・清浄気流方向と作業位置。 ・発塵作業の間仕切、局所排気、リターンダクト対策。 室内の設備 ・配線・管ダクトの露出は最小とする。 ・照明器具は出来るだけ天井内へ。 ・非常口、火災報知、消化器、停電、有害ガス。 ・インターホン、電話。 ・清掃。 ・粒子濃度、温・湿度記録。 計画の流れ 清 浄 度 の 決 定 温 湿 度 の 決 定 作 業 内 容 と 使 用 機 械 の 分 析 作 業 レ イ ア ウ ト 立 地 条 件 と 建 築 構 造 ● 耐 震 / 防 火 ● 要 求 表 面 清 浄 度 ● 経 済 性 評 価 / 騒 音 設 備 の 選 定 ● レ イ ア ウ ト 変 更 に 対 す る 考 慮 ● 製 品 の 温 湿 度 特 性 ● 振 動 / 排 気 / 配 線 / 配 管 保 守 ・ 管 理 ● 清 掃 方 法 / モ ニ タ リ ン グ / 教 育 品 質 管 理 仕 様 書 の 作 成 ● 公 害 対 策 / 静 電 気 / 故 障 ● 停 電 254 クリーンルーム ■ 実 験 台 備 品 環 境 制 御 施 設 ヒュームフード 実 験 室

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