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Clean：清浄度クラス10以下のクリーン環境に対応。Conductive：静電圧5V以下。 Convenient：省電力設計。エクセル3CFPD用ガラス基板など、クリーン環境での幅広搬送に。限界洗浄度に近いHDカセットや液晶FPカセットの搬送システム性能。ESD（静電除去）性能の高度化を強く求められるHDD生産システムに！EX3C-COEX3C-ST127搬送機器エクセル3C
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仕様オプション反転機アライメントシフター大形ローラー（φ250）リフター特長駆動方法ローラー材質ローラー形状ローラーピッチ対象搬送物ガラス基板最大形状（W）静電気コンベヤ電源搬送速度清浄度EX3C-STタイミングベルトとタイミングプーリーによる駆動50mm以上（選択可能）−−5V以下カセット、パレット等FPD用ガラス基板等カセット、パレット等中抜き搬送導電性ポリアセタール樹脂幅広搬送UPE、PEEK他 選択可能シャフト通し導電性ポリアセタール樹脂AC200V（三相）・90W以下EX3C-CO型式−第10世代用大型基板対応可能ツバ付ローラー他クラス10対応可能Max.24m／分標準仕様金属部品を噛み合わせない設計思想が、安全で静かなクリーンコンベヤを生みました。平均騒音値60dB。駆動部の隔離排気反駆動部の排気ポート5V以下128搬送機器Excel3Cエクセル3C
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